Step1:晶圆通过晶圆搬运机械手从晶圆上料POT位转移到晶圆校准器进行角度校准,然后转运至点胶设备吸附台上,对Wafer拍照Mark点定位,完成既定图案的贴装位喷胶;同时,直线取料模组从Casette将玻璃wafer取出至玻璃拾取工作位进行等待拾取贴装;
Step2:机械手将晶圆从点胶设备吸附台转移到贴装作业吸附台,贴装头相机进行晶圆Mark点定位,然后自动拾取玻璃片,依次拍照、矫正、贴装以及预固化;
Step3:贴装完成后的晶圆,由晶圆搬运机械手移至胶水固化工位,进行UV固化及除泡;
Step4:晶圆分次作业时,部分作业完成固化后的晶圆,通过晶圆搬运机械手直接移至点胶工位进行循环作业;
Step5:晶圆搬运机械手再取回晶圆放回晶圆下料POT位.